ACLS

概要

アクセリス・テクノロジーズ（Axcelis Technologies, Inc.）は、1995年に設立された、マサチューセッツ州ビバリーに本社を置く、半導体チップの製造に使用されるイオン注入装置や処理装置を設計、製造、および販売する企業です。

主に米国、欧州、アジア太平洋地域の半導体チップのメーカーにイオン注入装置や処理装置、ツールやスペアパーツなどの補修製品、機器のアップグレード、保守サービス、および顧客トレーニングなどの豊富なアフターサービスを提供しています。
全てのアプリケーションに対応するため、高エネルギー、高電流、中電流の注入装置を提供しています。
また、小さなウェハ（基板）のためのドライストリップ・システムを提供しています。

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