このシステムは、サブ 3 ナノメートルのロジック デバイス開発に使用されます マサチューセッツ州ビバリー、2023 年 10 月 10 日 /PRNewswire/ -- Axcelis Technologies, Inc. (ナスダック: ACLS) は、世界向けの革新的で生産性の高いソリューションの大手サプライヤーです。半導体業界は本日、…の出荷を発表しました。
