Axcelis、中国の大手パワーデバイスメーカーへの150mm「Purion M SiC Powerシリーズ」インプランターの複数出荷を発表

マサチューセッツ州ビバリー、2024 年 3 月 20 日 /PRNewswire/ -- 半導体業界向けのイオン注入ソリューションを実現する大手サプライヤーである Axcelis Technologies, Inc. (ナスダック: ACLS) は本日、同社の Purion M の複数出荷を発表しました。いくつかの主要なSiC中電流注入装置…
Source: PR Newswire

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