Axcelis Technologies, Inc. (ACLS) は、中国の大手パワーデバイスチップメーカーに Purion M™ SiC 中電流注入装置を複数出荷すると発表しました。このシステムは、自動車、産業、エネルギー用途向けの炭化ケイ素パワーデバイスをサポートします。同社は、成長する炭化ケイ素パワーデバイス市場において顧客の製造能力を強化することを目指しています。
