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サイマー (CYMI)

カテゴリ:半導体

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Cymer, Inc.

サイマー(Cymer, Inc.)は、カリフォルニア州サンディエゴに本社を置く、リソグラフィ光源の開発を行っている企業です。


サイマーは1986年に設立され、半導体露光装置に使用される光源の開発を行っています。
深紫外線(DUV)リソグラフィ、極端紫外線(EUV)リソグラフィなどの技術を有しており、DUV光源やEUV光源、オンパルスサービスといった製品を製造しています。
DUV光源の製品としてはフッ化アルゴン液浸光源、フッ化アルゴンドライ光源、フッ化クリプトン光源の製品があり、EUV光源の製品としてはEUVを用いた大量生産プラットフォームなどの製品があります。
また、オンパルスサービスは、機器の予防メンテナンスやオペレーションなどのサポート製品によるサービスです。

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